化学微机电系统传感器主要是指测量汽车系统中气体成分的气体传感器、生物微机电系统传感器、多路转换开关和矩阵开关等、车辆动力学控制;生物微机电系统传感器更多地应用于预测驾驶疲劳等汽车行驶安全领域、自适应导航,、车辆监护和自...

光开关是一种光路转换器件。在光纤传输系统，光开关用于多重监视器，LAN，多光源，探测器和保护乙太网的转换。在光纤测试系统，用于光纤，光纤设备测试和网路测试，光纤传感多点监测系统。光开关是一种具有一个或多个可选的...

光开关是一种具有一个或多个可选择的传输窗口，可对光传输线路或集成光路中的光信号进行相互转换或逻辑操作的器件。机械式光开关：插入损耗低；隔离度高；不受偏振和波长影响；开关时间长(ms)，重复性较差。其它光开关：开...

MEMS全称MicroElectromechanicalSystem，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及...

微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要...

微机电系统（MicroElectro-Me-chanicalSystems，MEMS）是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和...

一般微机电系统的生产方式是在基质上堆积物质层，然后使用平板印刷和蚀刻的方法来让它形成各种需要的结构。表面微加工表面微加工是在硅芯片上沉积多晶硅然后进行加工。深层刻蚀深层刻蚀如深层反应离子刻蚀技术向硅芯片内部刻蚀。刻...

微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等...

微光学与微电子的交集为光电领域(OptoElectronics)，微光学与微机械的交集则为光机领域(OptoMechanics)，而微电子与微机械的交集则是微机电系统领域(MEMS)。而微光机电系统(MOEMS)领域就是三者的交集，或称为光学微机电系统(...

微光机电系统在光通信、数字图像获取、显示与处理、IT外围设备、环境保护、自动化生物医疗装备、工业维护等方面有着很好的应用前景，国外在上述领域开展了一系列微光机电系统技术和产品的研究开发。开关元件是光网络的核心部件，...