长春光机所2023年科技进步奖申报名单：金春水、王丽萍、王辉、张海涛、于杰、喻波、周烽、郭本银、姚舜、马冬梅、李春、邓文渊、谢耀、刘钰、苗亮。从具体的获奖名单来看，中国科学院长春光机所有多项光刻光学技术及应用项目获...

NIL光刻机相对于EUV光刻机来说，光源的成本更低，不需要使用昂贵的EUV激光源。同时，NIL光刻机使用一些DUV或者更成熟的光源结合纳米涂层的方法，可以实现一至两纳米制程的量产，具有较高的制程精度和生产效率。尽管NIL光刻...

2月底，清华大学宣布突破光源技术，波长可覆盖从太赫兹到极紫外，这是EUV光刻机的核心技术。值得一提的是，EUV光刻机也叫极紫外光刻机。清华大学开发的EUV光源，意味着中国在EUV光刻机的研发上迈出了一大步。除了光源技术...

近日，国芯传来两大喜讯，突破了EUV光刻设备的最后难关，而且均和中科院有关，第一，根据央视的报道，中科院高能物理研究院传来好消息，其承建的中国首台高能同步辐射光源科研设备已于日前开始安装，而且该设备的光源技术研发与...

基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并有可能扩展到更短的波长，为突破大功率EUV光源提供了新的解决方案。我国自主研发EUV光刻机还有很长的路要走。基于SSMB的EUV光源有望解决自行开发的光刻机中最核心的“卡死...

没有euv光刻机，也造不了3nm，国产芯片可以利用先进封装技术来提升芯片性能和降低成本。没有EUV光刻机，并不意味着中国的芯片企业就无法实现3nm制程。通过先进封装技术，中国的芯片企业可以利用现有的制程水平，实现更高的芯片...

euv是英文“extremeultraviolet”的缩写，其中的“extreme”意为极度的、极端的，而“ultraviolet”则意为紫外线。因此，euv可以理解为一种用于光刻制造芯片的极端紫外线光源技术。这种技术可以制造出更加小型化、高速化、功能...

euv光刻技术介绍极紫外光刻（ExtremeUltra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外...

首先，哈工大euv光刻机的确存在。哈工大是中国的著名工科高等院校，其科研实力雄厚，在光刻机领域也有着一定的研究基础。而euv光刻机是下一代芯片制造的关键技术，因此哈工大开展相关研究也是合情合理的。其次，哈工大euv光刻...

我国目前连一台euv光刻机都没有，即使是图纸也没有。EUV光刻机是半导造中的核心设备，它使用极紫外光技术进行微细加工，能够实现芯片制造的高精度和高速度。然而，全球EUV光刻机市场一直被荷兰ASML公司垄断，而中国EUV光...