光刻机中的凸透镜的焦距是多少?

发布网友发布时间：2022-05-16 12:21

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热心网友时间：2023-09-08 03:50

光刻机由于其工作原理需要最后形成面光源，而实际上通过单一透镜很难将光源形成面光源。他的焦距不会是固定的应该根据光源来设计。
而且光刻机要求高，也不会使用单一的球面镜，用非球面镜的可能性更大。

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