3duv是什么

发布网友发布时间：2022-04-22 09:21

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热心网友时间：2023-10-24 23:45

3v就是深紫外光，主要是指波长小于i-line365nm的紫外光，一般工业上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化学增幅型的光刻胶。

d(uv) = (uv)'dx=(uv'+u'v)dx=v + udv这是因为uv'dx=udv u'vdx=v。

d(uv) = udv + v∫d(uv) = ∫udv + ∫vuv=∫udv + ∫v∫udv = uv -∫v。

u对x求微分x^4dx=4*x^3∫udv=u-∫v和∫uv'dx=uv-∫u'vdx 这原理是一样的∫uv'dx=∫udv∫u'vdx=∫v前提是v u是关于x的函数d(1/2x)=1/2*dx 相当于用分部积分把1/2。

3v分类：

光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动。

A手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度可想而知不高了。

B半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。

C自动：指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。