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硅靶中频反应溅射的SIO2膜是晶态的还是非晶态的?硅与氧气在最低多少温度能够反应?

发布网友 发布时间:2022-04-23 09:15

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热心网友 时间:2023-10-09 06:20

晶态的,反应温度大约在500°左右追问好像与我们实际的镀膜温度有差距,我们最低有用250度的,最高有用480度,而且膜层晶态与非晶态应该与制法有关,中频反应溅射属气相沉积法,应该制备的非晶态,只有电熔法制备的高纯度SIO2才可能是晶态,

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