关于ito靶材的绑定技术、不是制造ito而是绑定技术。

发布网友发布时间：2022-04-23 04:55

共5个回答

热心网友时间：2023-08-31 20:58

ITO靶材（氧化铟锡靶材）是一种常用的材料，广泛应用于PVD等制膜工艺中。对于ITO靶材的绑定技术，其实也是制膜工艺中非常重要的一环，其实现的质量和稳定性直接影响到薄膜的制备效果和性能。
市面上通常采用的ITO靶材绑定技术可分为如下几种：
1.焊接绑定：在ITO陶瓷靶材和铜或钛合金基底间，利用高温焊接方式将靶材牢固地焊接于基底上，从而完成绑定。这种方法要求工艺设备成本较高，且易受到靶材和基底的热膨胀系数差异等因素的影响，容易导致靶材失稳、龟裂甚至偏移等缺陷。
2.机械绑定：采用机械夹紧和复合加工等方式固定ITO陶瓷靶材和基底，形成整体结构。这种方法具有工艺简单、操作方便、效率高等优点，但牢固性较焊接绑定弱，容易出现靶材脱落等问题。
3.化学成分配比设计：通过调整ITO靶材和基底的化学成分及其配比，使两者在热膨胀系数等方面匹配度较高，以此来实现靶材的稳定绑定。这种绑定技术相对简单，但需要在材料设计阶段就把握好成分比例，控制得不好可能会影响靶材的性能。
目前市面上采用的主要绑定技术有焊接、机械夹紧和化学成分配比设计等。在选择绑定技术时，需要根据具体应用需求和工艺环节进行综合考虑，以达到更加理想的绑定效果。

热心网友时间：2023-08-31 20:58

如果是直板状的，现在绑定技术都比较简单了，很大众化，一面涂金属涂层，在将有涂层的那一面绑定在铜背板上。如果是圆筒靶，我也很好奇应该怎么绑定

热心网友时间：2023-08-31 20:59

绑定其实就是焊接的一种，可以理解为钎焊或者扩散焊，但要求在真空炉中进行焊接，在需要绑定的两种材料之间加上焊料（一般为低熔点的高纯金属铟），加压加温，最终焊接成型，管状ITO应该可以考虑套管或者其他类似于喷涂工艺。

热心网友时间：2023-08-31 21:00

本人从事靶材绑定行业多年，有自己的绑定专利，有了解的可以一起交流学习。

热心网友时间：2023-08-31 21:00

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