发布网友 发布时间:2022-07-18 06:11
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热心网友 时间:2023-10-09 18:13
21世纪是纳米科技时代,纳米加工是纳米科技的关键技术。
纳米通用图形发生器是纳米加工的重要装备。它可以配备到扫描电子显微镜(SEM)、聚焦离子束系统(FIB)和扫描探针显微镜(SPM)上,构建成纳米加工设备,进行纳米图形加工和纳米微结构制造。它适用于科研院所和高等院校的半导体、光电子、MEMS实验室。