发布网友 发布时间:2022-07-19 11:43
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热心网友 时间:2023-10-15 23:51
光栅扫描显示器使用帧缓冲器存储屏幕上每个像素的颜色信息,帧缓冲使用位面与屏幕像素一一对应。
光栅扫描,是被用在第一代电子束光刻(EBL)系统中,它是直接由扫描电子显微镜演变而来的。
特点
在典型的系统中,电子束首先通过一对留有间隔的板,它可使电子束偏转而被截断。第二对板用来在一个方向上扫描电子束。同时,承片台用机械方式在垂直于电子束扫描的方向上扫描。
将需要进行扫描的面积划分成一些厂区,其边长从100μm到几十个毫米。如果每一个像素都曝光,扫描轨迹就被定义为电子束走过的路程。数据被分解为位图,它依照扫描轨迹按顺序组成。
为改善边缘分辨率,典型的电子束斑的大小是最小特征尺寸的二分之一到五分之一,并采用多路径通过每一个曝光区。
在光栅扫描方法中,每一个像素必须被逐次扫描。这样曝光时间几乎与图形无关,图形就是通过打开和关闭快门而写出来的