硅片清洗池左右两侧为什么分别使用不同的试剂

发布网友发布时间：2022-04-23 13:38

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热心网友时间：2022-06-06 10:00

展开1全部　　硅片清洗
　　RCA清洗法是一种典型湿式化学清洗，虽然发明的时间比较早，当时的科技没有现在发达，但它在各种清洗方法中仍占重要地位。RCA清洗在清除有机表面膜、粒子和金属等污染物时十分有效，这也是为什么它能够得到广泛的应用。但该清洗方法也存在很多缺点：比如清洗过程中要用到大量的不同的化学试剂，对环境污染比较严重；又因为清洗过程主要是在高温环境下，这就需要用到很多的液体化学品和水；同时为了抑制化学试剂的蒸发，需要用到大量的空气；化学试剂的使用会加大硅片的粗糙度。所以，耗用化学品大、排放量大和污染环境。