发布网友 发布时间:2022-12-18 22:08
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热心网友 时间:2023-09-19 10:00
平面度符号为一平行四边形,平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是*实际平面对其理想平面变动量的一项指标,用来控制被测实际平面的形状误差。
平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是*实际平面对其理想平面变动量的一项指标,用来控制被测实际平面的形状误差。
面轮廓度和平面度、圆柱度虽同属于形状误差,但面轮廓度的理想轮廓面的位置是给定了的,而平面度和圆柱度中的理想平面和理想圆柱面的位置并未事先给定,所以它们的公差带位置是有区别的。
平面度误差的评定方法有三远点法、对角线法、最小二乘法和最小区域法等四种,打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法。
1、三远点法
用实际被测表面上相距最远的三个点建立的平面作为评定基准,然后在被测表面上均匀线布点,以各测点对此评定基准的偏离值中的最大偏离值与最小偏离值之差作为平面度误差值。测点在三远点平面上方时,偏离值为正值:测点在三远点平面下方时,偏离值为负值。
2、对角线法
用通过实际被测表面的一条对角线且用平行于另一条对角线的平面作为评定基准,在被测表面上均匀画线布点。以各测点对此评定基准的偏离值中的量大偏离值与最小偏离值之差作为平面度误差值。测点在对角线平面上方时,偏离值为正值;测点在对角线平面下方时偏离值为负值。
3、最小二乘法
以实际被测表面的最小二乘平面作为评定基准面,以平行于最小二乘平面,且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。最小二乘平面是使实际被测表面上各点与该平面的距离的平方和为最小的平面。此法计算较为复杂,一般均需计算机处理。
4、最小区域法
由两平行平面包容提取表面时,至少有三点或四点与之接触,有下列形式之一者表示被测提取要素已为最小区域所包笔。