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为什么光刻机常用短波长光
发布网友
发布时间:2022-12-21 08:18
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热心网友
时间:2023-10-09 14:46
加工精细度大。光刻机使用的光源波长越长,加工精细度越小,常用短波长光就是因为加工精细度大,光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
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