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热氧化物在硅片制造的四种用途

发布网友 发布时间:2022-05-06 01:50

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热心网友 时间:2022-06-28 11:58

简述硅片热处理意义 ①热处理温度要求:650±5℃; ②热处理目的:还原直拉单晶硅片真实电阻率; 1、热处理后电阻率会有什么变化 由于氧是在大约1400℃引入硅单晶的,所以在一般器件制造过程的温度范围(≤1200℃)
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