光刻机是干什么用的秒懂

发布网友发布时间：2024-05-29 21:58

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热心网友时间：2024-06-15 04:02

光刻机是利用光进行雕刻的设备，其主要作用是利用光线侵蚀光刻胶，实现电路图案的精确转移。简而言之，光刻机可以将复杂的电路图案通过透镜缩小后映射到芯片上，并通过光线作用蚀刻掉光刻胶，从而自动形成电路。光刻机结构复杂，荷兰ASML公司是目前全球最先进的光刻机制造商，其产品能够制造出5nm技术节点的芯片。
光刻机的分类主要基于操作便捷性，分为手动、半自动和全自动三种类型：
1. 手动光刻机：其对准调节需通过手动旋转旋钮来改变X轴、Y轴和θ角度，操作相对简便，但精度有限。
2. 半自动光刻机：其对准可通过电动轴根据CCD成像进行自动定位调整，提高了对准的准确性和效率。
3. 全自动光刻机：具备自动上下载基板、曝光时间控制和循环管理等功能，完全通过程序自动化运行，主要满足工厂对高处理量的需求。