关键尺寸扫描电子显微镜
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发布时间:2024-05-30 04:30
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时间:2024-06-04 01:14
一、扫描电镜的特点
- 能够直接观察样品表面的结构,适用于各种尺寸的样品,最大可达120mm×80mm×50mm。
- 样品制备过程简化,无需切片。
- 样品可在样品室内进行三维空间的移动和旋转,便于从多个角度进行观察。
- 景深大,图像具有强烈的立体感,相比光学显微镜,扫描电镜的景深高出数百倍,甚至超过透射电镜数十倍。
- 图像放大范围广,从十几倍至几十万倍不等,覆盖了从放大镜、光学显微镜到透射电镜的放大范围。
- 分辨率高,介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3纳米。
- 电子束对样品的损伤和污染程度较低。
- 观察形态的同时,还可以利用样品发出的其他信号进行微区域成分分析。
二、扫描电镜的应用
- 显微结构分析
- 纳米尺寸研究
- 铁电畴观测