如何计算光刻机刻蚀速率?

发布网友发布时间：2024-05-08 13:26

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热心网友时间：2024-06-01 18:43

1) 直接代入计算角宽度及线宽度公式：
角宽度=2*光波/狭缝宽度a
角宽度1=2*400*10^-9/2*10^-4=4*10^-3 rad
角宽度2=2*760*10^-9/2*10^-4=7.6*10^-3 rad
线宽度=2*f*光波/狭缝宽度a
线宽度1=2*0.5*400*10^-9/2*10^-4=2*10^-3 m =2 mm
线宽度2=2*0.5*760*10^-9/2*10^-4=3.8*10^-3 m=3.8 mm
(2) 第级明条纹间距离：
x1=2*1.5=3 mm
x2=3.8*1.5=5.7 mm

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