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半导体氧化硅有缺陷吗为什么

发布网友 发布时间:2024-04-30 06:24

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热心网友 时间:2024-04-30 09:03

有缺陷。因为硅与氧化硅界面缺陷就是工业生产器件中常见的缺陷类型之一,这主要是因为氧化硅常被用作栅氧或者埋氧而广泛地应用于集成电路中。
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