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半导体晶圆在切割时产生的硅粉如何处理

发布网友 发布时间:2022-04-19 09:48

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2个回答

热心网友 时间:2023-08-27 10:00

湿制程切割晶圆后在滤水芯中回收硅粉再利用;
干制程则用逆渗透粉尘机回收,两种回收都可以加入拉晶圆时的材料再用,目前少用干制程,

热心网友 时间:2023-08-27 10:00

我前一个单位是切割的时候纯水里加了切割液,切割完成后直接纯水清洗的,当然了切割液的浓度会根据晶圆的厚度和尺寸作调整。没刻意去处理切割下产生的硅粉。
半导体晶圆在切割时产生的硅粉如何处理

1. 在湿制程中切割晶圆后,硅粉可以在滤水芯中被回收,并用于后续的工艺流程。2. 对于干制程,硅粉则通过逆渗透段返透粉尘机进行回收。3. 无论是湿制程还是干制程回收的硅粉,都可以再次加入到拉晶圆的生产材料中。4. 目前,干制程的应用相对较少,通常不常用。

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半导体晶圆在切割时产生的硅粉如何处理

湿制程切割晶圆后在滤水芯中回收硅粉再利用;干制程则用逆渗透粉尘机回收,两种回收都可以加入拉晶圆时的材料再用,目前少用干制程,

划片后背面有硅粉正常么?

正常。划片是指在硅晶圆上用切割工具制作芯片的过程,这个过程会产生微细的碎屑,即硅粉,会附着在划片后的背面。

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