质量流量控制器使用时需要注意什么因素

发布网友发布时间：2022-04-25 17:09

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热心网友时间：2023-10-21 23:44

您好，这个使用的时候没有什么特别注意事项，大概有这么几点需要注意吧
1，如果是热式原理的，控制气体流量之前，先上电，预热10分钟左右最好。
2，前面加减压阀，以控制MFC电磁阀工作的压差。后面加截止阀防止漏气。
3，气体介质里不能还有太多的脏污，水分
可以参考Dmass气体质量流量控制器10SCCM-3000SLM
量程比100:1

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