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板式pecvd和管式pecvd的区别
发布网友
发布时间:2023-08-29 00:19
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热心网友
时间:2024-12-04 04:55
前者是在管子里,片子在石墨舟里作为电极镀膜,可以叫做直接式,后者则在石墨框上,不作为电极,可以叫做间接式。前者采用射频电源,后者则采用微波辉光。另外还有很多不同之处。
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