硅片为什么要切去一边,切出来的边叫啥
发布网友
发布时间：2022-04-25 17:05
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热心网友
时间：2022-05-23 10:30
简单来说就是确定晶向，以利于将来切割，设计图形时要考虑这一点，再要问深入一点，就要看看书了。
三极管一般用111面，MOS一般110面
这样做的原因是跟掺杂、腐蚀等后期制作有关，而且，不同晶向的外层电子的活跃性不一样，势能也不一样。
其实早期的硅片并不切边,但随着微电子业发展开始切边,原因如下:) W2 i: J; `& n$ W% L* M1 s
1, 微电子器件在晶圆上可以做n多个,需切割下来,而单晶硅生长是有晶向要求的,切割沿某一方向好切不乱裂,就是专业上称的解理面.切边就告诉您解理方向.
2, 硅片分N型和P型,有规范的切边还告知您它是n型电特性还是p型电特性,, u$ J2 z/ h" \9 ~- O
3, 现在微电子生产己经自动化,例如光刻的曝光若没有切边定位,那么掩膜版与晶片图型会相差180度或某种不定位置,生产效率会很低...,
4, 硅片的用途很多,除了n/p还要有晶向,例如做mems要求腐蚀各向异性会用到<110>等晶向,而mos产品为减小表面态影响要求用<100>晶向...
总之,晶圆的主对准边和副对准边的标准组合会告诉用片人它是什么导电类型和晶向,是个身份标识
希望对你有帮助，望采纳
