半导体SECS/GEM最全资料

发布网友发布时间：2024-10-03 13:44

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热心网友时间：2024-10-07 02:16

SECS/GEM是半导体制造行业中的关键通信标准，主要包括SECS-I和GEM两大协议。

SECS-I：

SECS-I最初旨在为独立制造商提供设备和/或主机的一种方法，无需深入了解彼此即可连接。这一标准在1980年首次发布以来仅进行了过一次重大的修订。其基本意图几乎没有改变，尽管引入了重要的补充内容。SECS-I由日本电子工业发展协会设备通信委员会与SEMI合作制定，意在提供无需深入了解即可互连设备与主机的途径。

SECS-II：

SECS-II是SEMI设备通信标准的第二部分，主要用于定义智能设备与主机之间消息交换的解释细节。标准旨在与SECS-I全面兼容，同时允许与其它消息传输协议的兼容性。SECS-II规范详细规定了消息交换的细节，使得即使在对单个设备知识有限的情况下也能构建一致的主机软件，反之亦然。其中定义的信息支持IC制造所需的典型活动，同时规定设备特定消息的定义，以支持标准消息未涵盖的活动。

GEM协议：

GEM协议是SECS-II的标准实施方式，为所有半导体制造设备定义了通用的行为和通信能力。这些通用功能和灵活性旨在支持半导体设备制造商的制造自动化流程。供应商可以在标准定义的行为或能力外添加额外的SECS-II功能，只要这些功能不与GEM定义的任何行为或能力相冲突，如SECS-II消息、事件收集、警报、远程命令代码、状态处理、变数值项等。GEM旨在通过设备制造商与供应商的经济效益带来改变。对于设备供应商而言，开发和营销单一SECS-II接口能够满足大多数客户的需求；对于设备制造商来说，所有制造设备中SECS-II接口功能的标准化和增强则降低了软件开发成本，最终加速和增强了半导体工厂的自动化。