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Macleod中双面镀膜的模拟

发布网友 发布时间:2024-10-02 17:08

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热心网友 时间:2024-10-31 05:54

传统设计中,Essential Macleod使用完全干涉的薄膜结构,仅在一侧基板形成膜层。与此不同,Stack结构包括一组膜层和基板,其两面平行以在相同材料中产生相同角度的光线传播。在Stack中,膜层被介质分隔,介质的特性由其材料和厚度定义。入射介质和出射介质通常被认为是半无限的,而其他介质的厚度有限。膜层继续支持完全一致性,即完全干涉现象,这通常适用于考虑基板后表面反射或镀膜的情况。

介质或基板不支持干涉效应主要是由于系统因素。基板厚度通常以毫米为单位测量,导致路径差异非常大。入射角、波长和厚度的微小变化,尽管对路径差异比例效应的影响较小,但对相位变化有很大影响,因为涉及多个波长的路径差异。当各种光线组合时,干涉条纹会被冲淡,只留下总的辐照度。在单个设计文档中,我们总是假设使用完全准直的单色光,其中入射角和波长的变化通常影响较小,可以忽略不计,从而在设计中存在完全相干效应。

当角度或波长的变化较大时,设计中的层可能显示出减少的干涉效应,这种情况称为部分相干。这部分内容存在于Stack文档中。计算参数包括光中缺乏准直性(以圆锥半角表示)和缺乏单色性(以光谱带宽表示)的影响。这些参数在Design文档中不可用,除非在Stack中设置(稍后将介绍)。

Stack文档中的Medium Type列提供了两种选择:Parallel和Wedge。接收器用于收集透射或反射的光,并假设为均匀灵敏度。接收器可能无法收集在不同表面之间来回反射后最终出现的所有光束。Parallel接收器收集所有光束,以避免丢失,而Wedge接收器仅收集从离它最近的表面反射一次的光束。假设所有其他反射光束走出系统,在传输中,Wedge接收器不收集反射光束。在成像系统中,Wedge计算代表形成的像,而Parallel计算代表所有可能的光。因此,它们之间的差异是杂散光。

在薄膜材料消光系数的准确性较低,不适合用于较厚膜层的情况下,更可靠的方法是提供给定厚度内的透射率。此参数比吸收系数更易于获得,因此用于定义Stack中介质的属性。要使用此功能,请打开Design文档,然后在File菜单中选择Display Setup。单击Medium,设计文件的外观将如图2所示,添加了Medium Type和Medium Thickness两列。另外一种方法是通过在File菜单中选择New-Stack。
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