真空镀膜机的使用步骤是什么样的?
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发布时间:2024-10-13 00:24
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时间:2024-11-02 15:33
真空镀膜机主要分为两部分,基板和目标材料,两者置于真空腔内。蒸发镀膜通过加热目标材料,使其表面成分以原子团或离子形式蒸发,然后通过成膜过程沉积于基板表面,形成薄膜。溅射镀膜则是利用电子或高能激光轰击靶材,使其表面成分以原子团或离子形式溅射,最终沉积在基材表面,形成薄膜。
使用步骤如下:首先开启水泵、气源,接着打开总电源。之后,打开维护泵、真空计电源,待真空计值小于10后,进入下一步操作。接着,打开机械泵进行预抽,启动涡轮分子泵,并将其真空计开关调至V2位置,直到抽气值小于2。接着,观察涡轮分子泵读数达到250后,关闭预泵,打开前泵和高真空阀继续抽真空。最后,当真空度达到2×10-3后,才可打开电子*电源。
在使用DEF-6B时,首先打开总电源,接着同时打开电子*控制Ⅰ和电子*控制Ⅱ电源。当高压开启时,高压将达10KV以上,调节束流可达200ma左右,帘栅为20V/100ma,灯丝电流为1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
关机时,首先关闭真空表头,关闭分子泵。待分子泵显示值为50时,依次关闭高阀、前级、机械泵,期间大约40分钟。最后,当分子泵显示值低于50时,再次关闭维持泵。
真空镀膜机适用于广泛领域,如建筑五金、制表业、其他小五金、大型工件、不锈钢管及板、家具、灯具、酒店用具、锁、把手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金制品镀超硬装饰膜;手表、表带、眼镜、珠宝等装饰品涂有超耐磨装饰(金银)纳米膜、纳米膜和纳米叠层膜。