电子背散射衍射的基本原理与应用(上)
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发布时间：2024-09-27 06:17
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时间：2024-12-13 05:35
电子背散射衍射（EBSD），自20世纪90年代起，革新了扫描电子显微镜（SEM）的研究方法。作为SEM标准附件，EBSD不仅观察微观组织，还进行精确的晶体学分析，将显微结构和晶体学紧密结合。本文将深入探讨EBSD的历史发展、电子背散射衍射花样的形成机制，以及其在SEM中的应用。
EBSD的发展历程中，从Kikuchi的透射电子显微镜发现，到Venables和Harland在SEM中的初步应用，再到Dingley将其与电视摄像机结合，形成现代EBSD技术。如今，EBSD已广泛应用，能快速测量晶体取向并鉴定相位，提供晶体取向图、极图和ODF等数据。
电子背散射衍射花样的形成基于菊池线概念，通过电子束在晶体中多次散射，形成背散射电子，形成EBSP。与TEM相比，EBSD的花样角度范围更广，且图像清晰度略有差异，这取决于实验条件和电子传输特性。
EBSD的原理涉及弹性散射和非弹性散射，形成背散射电子并形成衍射圆锥，与接收屏交线形成菊池带。这一过程揭示了材料的微观结构信息。扫描方式包括电子束扫描和样品台扫描，各有优缺点。
EBSD技术具有亚微米级的空间分辨率，结合SEM的便捷性，使得它在材料研究中占据重要地位，能快速、准确地分析材料的微观组织和织构。这已超出传统显微结构分析的范畴，形成“显微织构”这一新领域。
参考文献为相关研究和教程，展示了EBSD技术的不断发展和广泛应用。总的来说，EBSD是一种强大而实用的材料分析工具，对现代材料科学的进步起到了关键推动作用。
