扫描电子显微镜有SE和BSE模式吗?
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发布时间:2024-10-21 13:09
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时间:2024-10-31 21:49
1. 扫描电子显微镜(SEM)确实拥有SE(二次电子)和BSE(背散射电子)两种模式,它们各自有不同的信号收集机制。
2. SE模式主要收集二次电子,这些电子是由样品表面的原子或分子失去电子后产生的。BSE模式则收集背散射电子,这些电子是从样品内部弹射出来的,通常来自于较重的原子。
3. 由于SE和BSE收集信号的方式不同,它们的分辨率也有所区别。SE模式通常提供较高的分辨率,能够更清晰地显示样品的表面形貌。而BSE模式由于其信号来源于样品内部,分辨率相对较低,但能够显示样品内部的元素分布。
4. 图像衬度也是两种模式的一个显著差异。SE模式产生的是形貌衬度,即根据样品表面的不同形貌来形成图像。BSE模式产生的是质厚衬度,即根据样品内部元素的不同密度来形成图像。
5. 两种模式的应用目的也不同。SE模式适合于观察样品的立体形貌,而BSE模式则更适合于观察样品中元素的二维分布。
6. 在实际应用中,为了同时获得形貌和成分信息,可以采用多通道探测器同时进行SE和BSE信号的采集。尽管SE和BSE图像均可用于形貌观察,但它们在形貌表现上存在差异,特别是在需要精确测量样品时,两者的测量结果可能会有较大误差。
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