扫描电镜中二次电子像为什么比背射电子像的分辨率更高?

发布网友发布时间：2022-05-24 10:15

共2个回答

热心网友时间：2023-10-10 15:33

在同一个像素点，主要二次电子取样区相对背散射电子取样区要小很多，因此在相同大小微观区域，可以分割排列更多像素，图像分辨率因此更高！对此有问题可以继续提问！追问可不可以详解一下，因为是一个小简答题，但是课本和课件上并没有这方面知识，所以了解的比较少，谢谢O(∩_∩)O~

追答电子束轰击固体表面，电子在穿透物质过程中，发生散射。
二次电子主要是入射电子束电子和物质内部弱结合的自由电子发生非弹性散射碰撞，非弹性散射不改变入射电子方向，入射电子将一点能量传递给自由电子，种脱离物质束缚的自由电子称为二次电子。由于自由电子能量非常低，一般只要几个电子伏即可脱离物质束缚。由于二次电子绝大部分能量很低，因此只有接近物质表面才有机会向表面以外发射。二次电子发射出样品表面的概率随着离表面距离的增加而大幅度减小。作为成像信号峰值的二次电子主要来源于入射电子束和样品表面接触很浅的区域，这个区域直径和电子束斑比较接近，一般认为是电子束斑直径的电子在该物质中一个平均自由程倍。这个尺度在nm级。

背散射电子是入射电子和物质原子核发生弹性散射，（弹性散射不改变电子能量，但改变电子方向，）其中方向改变大于90°，且有机会从样品表面发射出的入射电子。背散射电子作用区相对二次电子作用区要大很多。很多时候是几个微米级。

电子束和样品作用区大小是扫描电镜分辨率的重要影响因素之一，不同材质的样品，同样能量同样几何参数的入射电子束，获得的图像分辨率也可能不同。

不知道是否说清楚了！

热心网友时间：2023-10-10 15:34

在相同大小微观区域，可以分割排列更多像素，图像分辨率因此更高。

分辨率可以从显示分辨率与图像分辨率两个方向来分类。
显示分辨率(屏幕分辨率)是屏幕图像的精密度，是指显示器所能显示的像素有多少。由于屏幕上的点、线和面都是由像素组成的，显示器可显示的像素越多，画面就越精细，同样的屏幕区域内能显示的信息也越多，所以分辨率是个非常重要的性能指标之一。可以把整个图像想象成是一个大型的棋盘，而分辨率的表示方式就是所有经线和纬线交叉点的数目。显示分辨率一定的情况下，显示屏越小图像越清晰，反之，显示屏大小固定时，显示分辨率越高图像越清晰。
图像分辨率则是单位英寸中所包含的像素点数，其定义更趋近于分辨率本身的定义。